為了使潔凈室內保持所需要的溫度濕度、風速、壓力和潔凈度等參數，最常用的方法是向室內不斷送入一定量經過處理的空氣，以消除潔凈室內外各種熱濕干擾及塵埃污染。為獲得送入潔凈室具有一定狀態的空氣，就需要一整套設備對空氣進行處理，并不斷送入室內，又不斷從室內排出一 部分來，這一整套設備就構成了潔凈空調系統。
室外新風W經新風機組凈化、降溫、減濕、再熱處理后送入頂棚。為使潔凈室的溫濕度控制得更平穩，通常將處理后的新風調整到潔凈室的要求狀態N，由DDC(Direct Digital Control) 實現凈化新風的精確控制。由于新風機組采用了噴淋潔凈水的噴淋段和再熱段，所以L點應是新風機器露點，位于N點的垂直下方。經過安裝在回風道上的FFU處理后的H狀態回風在頂棚內與經過新風機組處理的新風混合，形成O狀態的送風，再由FFU加壓過濾送入潔凈室內。送入室內的潔凈空氣吸收顯熱后變為室內狀態N，一部分由工藝設備的排風裝置排到室外，另一部分再經FFU處理后回用。